TONiC RELM直线光栅系统
RELM因钢栅尺的膨胀系数为~0.6 µm/m/°C，有各种长度可供选择。 坚固的因钢栅尺比传统玻璃栅尺具有更小的截面尺寸，但操作和安装更为简便，没有破损的风险。RELM系统精度达±1 µm，分辨率达5 nm，能够满足苛刻的精密运动的需求。
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RELM因钢栅尺的膨胀系数为~0.6 µm/m/°C，有各种长度可供选择。 坚固的因钢栅尺比传统玻璃栅尺具有更小的截面尺寸，但操作和安装更为简便，没有破损的风险。RELM系统精度达±1 µm，分辨率达5 nm，能够满足苛刻的精密运动的需求。